六十載真空行業(yè)深耕細(xì)作
二十年干泵領(lǐng)域砥礪前行
國內(nèi)可批量應(yīng)用于12寸集成電路行業(yè)的干式真空泵龍頭制造企業(yè)，產(chǎn)品目前已在國內(nèi)多家知名集成電路和光伏巨頭企業(yè)通過工藝驗證并批量使用。
集成電路領(lǐng)域重要設(shè)備的自主可控
打破了歐美及日韓企業(yè)對同類產(chǎn)品的長期壟斷地位，實現(xiàn)集成電路產(chǎn)業(yè)核心零部件國產(chǎn)化“0”的突破，為全產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化的貫通奠定了重要基礎(chǔ)。
技術(shù)突破
公司針對干式真空泵小型化、低能耗、高轉(zhuǎn)速、耐腐蝕、耐粉塵的需求特點進(jìn)行研發(fā)攻關(guān)并取得技術(shù)突破，
現(xiàn)已實現(xiàn)在 12 英寸集成電路制造工藝的成熟使用，實現(xiàn)了產(chǎn)品較高程度的可靠性、穩(wěn)定性、一致性。
整機高可靠性
穩(wěn)定的運轉(zhuǎn)性能
高清潔度的真空環(huán)境
自適應(yīng)智能控制
工藝安全性
產(chǎn)品系列
羅茨干式真空泵
針對集成電路的薄膜沉積、刻蝕、離子注入制程（約占主要工藝過程的 70%），研發(fā)三大系列干式真空泵產(chǎn)品。
螺桿干式真空泵
渦旋干式真空泵
應(yīng)用領(lǐng)域
APPLICATION AREA
干泵客服中心
SERVICE SUPPORT
沈陽科儀的干泵客服中心業(yè)務(wù)分為技術(shù)支持與售后服務(wù)兩個板塊，共同專注于提供客戶各種解決方案以滿足客戶的技術(shù)與生產(chǎn)需求。
為了提供更優(yōu)的服務(wù)體驗我們在不斷的努力。
技術(shù)支持
技術(shù)支持組集結(jié)了平均行業(yè)經(jīng)驗大于10年的半導(dǎo)體
以及光伏行業(yè)的專家，
致力于針對不同工藝需求提供最優(yōu)的真空解決方案。
售后服務(wù)
售后服務(wù)組提供全方位的安裝，調(diào)試，
日常維護(hù)保養(yǎng)，故障解決與跟蹤服務(wù)。
我們同時提供人員駐場服務(wù)以及時有效的解決客戶端問題，
以及全天候7*24小時的on call 服務(wù)以滿足客戶的產(chǎn)能需求。
售后電話：024-23826869 13889237273
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