升華器
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升華器
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產品描述
參數
鈦升華器采用CF35法蘭安裝方式，同時可安裝3根發(fā)卡鈦鉬絲；鈦升華器可直接與真空系統通過法蘭連接，也可以與吸附阱復合使用（吸附阱通用接口為CF150法蘭）。
鈦升華器標準深入長度
|
升華絲 |
ф2mm TiMo（3根） |
|
工作真空度 |
10-1~10-10Pa |
|
工作溫度 |
-196~250℃ |
|
烘烤溫度 |
≤300℃ |
|
安裝法蘭 |
CF 35(70mm OD) |
|
最大工作電流 |
52 A |
|
初始升華電流 |
48 A |
|
|
|
升華器抽氣速率取決于鈦升華速率、吸氣面積、吸氣位置溫度和系統流導等因素；當真空度高于10-4Pa時，抽氣速率完全取決于鈦升華速率；在更好的真空環(huán)境下，其他因素更加重要；鈦升華器對氫氣、水、一氧化碳、氮氣、氧氣等其他具有可觀抽速，對惰性、甲烷等氣體無抽速。
具體抽速如下：
|
氣體 |
抽速（ls-1 cm-2） |
|
|
20℃ |
-196℃ |
|
|
H2 |
3 |
10 |
|
H2O |
3 |
14 |
|
CO |
9 |
11 |
|
N2 |
4 |
20 |
|
O2 |
2 |
6 |
|
CO2 |
8 |
9 |
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無
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無
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